Thorlabs可变形反射镜

MEMS可变形反射镜通用性强、技术成熟，而且校正波前的分辨率高，是目前自适应光学中最常用的可变形反射镜结构。BMC的可变形反射镜使用先进的MEMS生产技术，具有微加工的固有优势。  大驱动器阵列提供高分辨率的波前校正；  先进的微结构使相邻驱动器之间的串扰降到最低；  最优设计满足高速应用要求的高速波前整形。

连续表面反射镜(平滑的波前控制)

分割表面反射镜(SLM无串扰的控制)

Multi-DM可变形反射镜

Multi-DM是BMC畅销的可变形反射镜，它的结构紧凑，使用简单，能够完成复杂的波前补偿。Multi-DM反射镜表面通过140个低串扰的精密驱动器控制，非常适合显微镜、视网膜成像和激光光束控制等多种应用。反射镜可选连续表面或分割表面(型号后缀-SLM)，分别用于自适应光学或空间光调制应用。 特性

 驱动器数：140 (方形，12x12，四角无效)  镀膜：铝膜、金膜或保护银膜  零磁滞

 帧率可达20 kHz  亚纳米平均步长

 占空比：>99% (DM) / >98% (SLM)

可变形反射镜和控制器

校正高阶像差：使用Multi-DM得到高阶泽尼克模式

型号 驱动器数 位移(µm) 孔径(mm) 间距(µm) 机械响应(µs) (10%-90%) 近似串扰率 Multi-1.5 140 1.5 3.3 300 <60 15% Multi-3.5 140 3.5 4.4 400 <100 13% Multi-5.5 140 5.5 4.95 450 <500 22% Multi-SLM 140 1.5 3.6 300 <40 0% Hex可变形反射镜

BMC的Hex Class可变形反射镜是最新推出的类型。反射镜表面由多个分割部分组成，每个分割部分通过三个驱动器调节俯仰和伸缩，从而控制波前。Hex Class可变形反射镜非常适合从in vivo显微镜到高分辨天文学的多种应用。

特性

 反射镜镀膜：金膜、铝膜和保护银膜  零磁滞  亚纳米平均步长  占空比：>98%  驱动器间距：375 μm  机械响应：<100 μs  驱动器间串扰：~13%  可选全面的电机械校准

Hex可变形反射镜实物图

型号 驱动器数 六边单元数 位移(μm) 孔径(mm) 帧率 (延迟时间)

Hex-111 111 37 3.5 3.8 2kHz (125μs) Hex-111-X 111 37 3.5 3.8 100kHz (2μs) Hex-255 255 85 3.5 5.3 30kHz (33μs) Hex-507 507 169 3.5 8.3 30kHz (33μs) Hex-507-LL 507 169 3.5 8.3 60kHz Hex-507-S 507 169 1.0 8.3 60kHz