专利名称：利用飞秒激光单脉冲对硬质材料进行灰度加工的方
法及其应用
专利类型：发明专利
发明人：孙洪波,曹小文,陈岐岱申请号：CN201810016784.5申请日：20180109公开号：CN108145315A公开日：20180612
摘要：本发明公开了一种利用飞秒激光单脉冲对硬质材料进行灰度加工的方法及其应用，属于激光加工技术领域，提供了利用单个飞秒激光脉冲直接对硬质材料进行灰度加工的方法。采用空间光调制器将飞秒激光调制成一组光强(相对能量)不同的子束波，利用调制后的单个飞秒激光脉冲对硬质衬底进行曝光，可获得一组曝光剂量与子束波光强一一对应的种子点阵。在此基础上进行刻蚀，最终能够得到由一组单元三维尺寸可独立调节的微结构阵列，每个结构单元尺寸由所对应种子的曝光剂量唯一决定。
申请人：吉林大学
地址：130012 吉林省长春市前进大街2699号
国籍：CN
代理机构：长春吉大专利代理有限责任公司
代理人：刘世纯
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