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微细电铸用模具及其制造方法

2023-10-09 来源:九壹网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(21)申请号 CN03800981.1 (22)申请日 2003.02.18

(71)申请人 住友电气工业株式会社

地址 日本大阪府

(10)申请公布号 CN1313646C (43)申请公布日 2007.05.02

(72)发明人 新田耕司;稻泽信二;细江晃久 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

代理人 李晓舒

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

微细电铸用模具及其制造方法

(57)摘要

一种容易制造的具有简单结构的微细

电铸模具。为了提高由金属薄膜构成的金属制品的产量,在电铸过程中用作阴极的电极部分可以以更高的密度布置,且形成在电极部分上的金属薄膜可容易地剥离。该模具具有持久力,且可多次使用。还公开了一种以更高的精度通过更简单的方式制造该微细电铸模具的制造方法。微细电铸模具(M)具有电铸时用作阴极的导电性基板(1)。在导电性基板(1)的表面上,具有抵达导电性基板(1)且其形状自上方观看时相应于金属制品(P)的形

状的开口(21)的绝缘层(2)由无机绝缘材料形成,其厚度T 法律状态

法律状态公告日

2004-12-01 2005-02-02 2007-05-02 2011-04-27

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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