（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910120450.7 （22）申请日 2019.02.18
（71）申请人 湖北兴福电子材料有限公司
地址 443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号
（10）申请公布号 CN109706455A
（43）申请公布日 2019.05.03
（72）发明人 李少平;张演哲;贺兆波;张庭;蔡步林;万杨阳;王书萍;冯凯;尹印 （74）专利代理机构 宜昌市三峡专利事务所
代理人 成钢
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法
（57）摘要
本发明涉及一种高蚀刻速率与选择比的铝
蚀刻液及其制备方法。该铝蚀刻液由磷酸、硝酸、醋酸、盐酸和去离子水组成，在该蚀刻液中，由硝酸和盐酸反应形成的氯化亚硝酰具有更强的氧化性能，使其对金属铝具有高效的蚀刻速率，同时对硅基底表面的氮化钛等金属阻挡层具有极低的蚀刻影响，形成高蚀刻选择比。在制备过程中，通过控制各组分的添加量和顺序，以质量配比先加入磷酸、硝酸、醋酸和去离子水，搅
拌均匀后再加入盐酸，能最大化的产生强氧化物质氯化亚硝酰，从而提高铝蚀刻液的蚀刻速率。本发明中的铝蚀刻液能极大的缩短铝蚀刻工艺时间，并满足高选择比的要求。
法律状态
法律状态公告日
2019-05-03 2019-05-03 2019-05-28
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
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说明书
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