专利名称：半导体成品高低温多工位测试装置专利类型：发明专利
发明人：邓维维,刘远华,钭晓鸥,吴勇佳,岳小兵申请号：CN201810171393.0申请日：20180301公开号：CN108414912A公开日：20180817
摘要：本发明涉及一种半导体成品高低温多工位测试装置，由夹具底座和夹具盖组成，夹具底座上有多个半导体成品芯片放置区，夹具底座置于高低温测试区域内，夹具盖上有一通气孔，位置大小与冷热冲击机热流罩圆形进气孔匹配；夹具盖包裹盖在夹具底座上，夹具盖背面，正对夹具底座每个半导体成品芯片放置区上方均有一个出气孔，夹具盖既是一个盖，盖内又有一个一进多出的气流腔体，起到混合气流的作用。夹具占面积小，操作简便，并保证高低温受热均匀。有效地解决多工位手动测试时操作效率低，保证测试质量，提高测试效率和经济性。
申请人：上海华岭集成电路技术股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼
国籍：CN
代理机构：上海申汇专利代理有限公司
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