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热心网友
本来是来搜索这个问题的答案的,刚看了别人的介绍。我就借花献佛了。
1.
plasma
清洗原理:
清洗chamber在低压情况下(使用真空pump抽空气),注入ar气体,再给chamber内的电极加高电压,使倒chamber内的气体生产电离,由于有电场的存在,正离子住负电极跑,负的电子向正电极跑,在跑的过程中,又会撞击在chamber内的气体分子,形式链式反应。ar+离子在跑向负极的过程中,会撞击在要洗清物品的表面上,与表面的污渍或异物分子发生化学反应,达到清洗的效果。再用真空pump抽走chamber内的已经脏了的ar气体,如此循环。
2.
ar
的作用
一般plasma采用o2
或ar
作为清洗气体,由于ar是惰性气体,不易与其它物体发生化学反应,所以,一般情况下,plasma都采用ar,
有些特殊要求的除外。