LED用蓝宝石衬底材料有哪几种?

发布网友 发布时间:2022-04-22 05:10

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热心网友 时间:2024-01-26 02:17

目前市面上一般有三种材料可作为衬底:
·蓝宝石(Al2O3)
·硅
(Si)
·碳化硅(SiC)
除了以上三种常用的衬底材料之外,还有GaAS、AlN、ZnO等材料也可作为衬底,通常根据设计的需要选择使用。

热心网友 时间:2024-01-26 02:17

对于制作led芯片来说,衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底,需要根据设备和led器件的要求进行选择。
  目前市面上一般有三种材料可作为衬底:
蓝宝石(al2o3)、硅
(si)
、碳化硅(sic)
  蓝宝石衬底
  通常,gan基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,
蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多
数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。图1示例了使用蓝宝石衬底做成的led芯片。
  硅衬底
  目前有部分led芯片采用硅衬底。硅衬底的芯片电极可采用两种接触方式,分别是l接触(laterial-contact
,
水平接触)和v接触(vertical-contact,垂直接触),以下简称为l型电极和v型电极。通过这两种接触方式,led芯片内部的电流可以是横向流动的,也可以是纵向流动的。由于电流可以纵向流动,因此增大了led的发光面积,从而提高了led的出光效率。因为硅是热的良导体,所以器件的导热性
能可以明显改善,从而延长了器件的寿命。
  碳化硅衬底
  碳化硅衬底(美国的cree公司专门采用sic材料作为衬底)的led芯片电极是l型电极,电流是纵向流动的。采用这种衬底制作的器件的导电和导热性能都非常好,有利于做成面积较大的大功率器件。采用碳化硅衬底的led芯碳化硅衬底的导热性能(碳化硅的导热系数为490w/(m·k))要比蓝宝石衬底高出10倍
以上。蓝宝石本身是热的不良导体,并且在制作器件时底部需要使用银胶固晶,这种银胶的传热性能也很差。使用碳化硅衬底的芯片电极为l型,两个电极分布在器
件的表面和底部,所产生的热量可以通过电极直接导出;同时这种衬底不需要电流扩散层,因此光不会被电流扩散层的材料吸收,这样又提高了出光效率。但是相对
于蓝宝石衬底而言,碳化硅制造成本较高,实现其商业化还需要降低相应的成本。

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